Tárgyszó  
 
 
Kulcs: Vékonyréteg-technika
Nemdeszkriptor: Vékonyréteg-fizika ; Vékonyrétegű huzalozás
Fölérendeltje: Elektronikai gyártástechnológia
Mellérendelt: Szuperrács
Része: Epitaxia ; Gőzfázisú leválasztás
Helyett és: Mágneses vékonyréteges tár ; Optikai vékonyréteg ; Vékonyréteg-áramkör
Helyett vagy: Rétegtechnológia
Oka: Ionbombázás ; Ionimplantáció
József Attila Megyei és Városi Könyvtár
TextLib WWW V2.01.01/1674 - InfoKer